显微镜

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白光干涉光学单元

WLI-Unit
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WLI-Unit


产品特点与优势
● 实现非接触式3D表面形状测量和轮廓测量
可利用白光干涉原理实现非接触式高精度细微表面性状测量
(例如:3D形状测量、3D粗糙度测量)



● 不依赖于光学倍率的高度测量精度
即使是低倍率镜头,也可使用Z向高分辨力进行测量



● 高纵横比测量
不依赖于光学系统的NA进行检测,支持高纵横比形状测量



● 抗干扰震动的高稳定性



● 小型轻便